最新資訊
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石墨舟有什么工作原理？
發布作者：jcadmin 發布時間：2023年11月20日
石墨舟裝片房：用于太陽能職業與PECVD承載車配套、裝取硅片、制作中效及高效過濾器，確保吹出的空氣抵達凈化要求。
石墨舟作業原理：
空氣經過高效過濾后，阻尼層均壓，使潔凈的空氣氣流垂直單向送入裝片作業區，然后確保了作業區內抵達工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點：
1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位；
2、選用不銹鋼制作，整機結構穩固可靠；
3、選用GK系列高效空氣過濾器3只；
4、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉180度；
5、凈化風機噪音小于50dB。
6、確保了作業區內抵達工藝要求的潔凈度100級。
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