一般石墨舟在工作100至150次后就應(yīng)該進(jìn)行清洗,這是因為石墨舟上的SiN會跟著工作次數(shù)的添加而添加，影響石墨舟的正常運用。
    在室溫條件下(<40°C)，將石墨舟的部件放入HF濃度(5–20%)的腐蝕槽內(nèi)進(jìn)行腐蝕。最好的濃度是10%，腐蝕時間為4~6小時。低濃度條件下，腐蝕槽會被發(fā)生的SiN顆粒污染，因而需求進(jìn)行守時的過濾維護(hù)。濃度高于10%會對操作人員形成危險。悉數(shù)部件應(yīng)該被分隔放入腐蝕槽內(nèi)并且不可相互接觸，這樣HF酸就可以腐蝕到任何部位，這關(guān)于石墨聯(lián)接塊而言更為重要。
    在2號純水槽內(nèi)將其用純水漂洗4~6小時。
    用PH-試紙查看活動的水是不是中性的，有必要保證悉數(shù)的蝕刻殘渣(SiF4)都現(xiàn)已被洗掉，任何蝕刻殘渣被帶入爐管都或許引起沾污或許工藝問題。可以在石墨上看到白色的一層便是殘渣，悉數(shù)部件都有必要分隔放置這樣可以避免酸液殘留在其間。
    在85°C條件下，將分別的舟各部件烘干24小時。
    石墨像海綿相同可以蓄水并堅持比較長的時間;在100°C以上烘干或許是在未干的狀態(tài)下將其送入爐管會引起水的遽然氣化，這會使石墨分裂。將一個沒有徹底單調(diào)的舟放入爐管還或許導(dǎo)致爐門邊沿的腐蝕以及真空體系的過火堆積。
在供給的設(shè)備臺大將舟設(shè)備好。查看有無損害。
    用CentroTherm供給的轉(zhuǎn)矩扳手(0.6Nm)擰緊陶瓷螺絲，石墨螺絲比較易碎，因而有必要用手當(dāng)心擰緊。