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石墨舟裝卸室是什么?
發布作者：jcadmin 發布時間：2023年10月09日
石墨舟裝載室:用于太陽能職業和PECVD運載車輛支撐，裝載硅片，制備中高效過濾器，保證吹出的空氣滿足凈化要求。
石墨舟作業原理: 空氣經過高效過濾后，均勻壓入阻尼層，使潔凈氣流筆直、單向送入負載作業區，然后保證作業區的潔凈度滿足工藝要求。操作人員在清潔的環境中將硅片安裝到石墨舟上。
石墨舟主要特點:
1、能精確地使石墨舟軸承板小車定位;
2、全不銹鋼制造，整機結構結實牢靠;
3、選用GK系列高效空氣過濾器3臺;
4. PECVD運載車輛內部可歪斜15度或旋轉180度;
5、凈化風機的噪聲小于50dB.
6、保證作業區域的潔凈度達到工藝要求100級。
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